上海新陽超純銅電鍍液產品成為中芯國際上海工廠的基準材料(Baseline)
近日,從中芯國際傳來令人振奮的好消息——上海新陽超純銅電鍍液產品(VMS)繼2012年11月正式上線使用、2013年3月份成功切換到中央供液系統后,又于8月份成功成為中芯國際上海工廠的基準材料(Baseline)。
此前,上海新陽超純銅電鍍液產品(VMS)已獲中芯國際2012年下半年相關化學品供應商綜合評估排名第一。據中芯國際反饋,上海新陽超純銅電鍍液(VMS)驗證進展較理想,在銅填充效果、在線缺陷檢測、電性、良率、可靠性(RE)等關鍵性技術指標考核中均與原基準材料相當。同時,上海新陽的超純銅添加劑產品于中芯國際的上線驗證評估工作正在緊鑼密鼓地進行。
十年磨一劍!上海新陽此次超純銅電鍍液產品(VMS)成功成為中芯國際上海工廠的基準材料(Baseline),標志著上海新陽經過十年不懈努力開發(fā)出擁有完全自主知識產權的高科技含量的超純晶圓制程化學材料進入了國際半導體市場,標志著高端超純晶圓制程化學材料完全由國際幾大材料巨頭壟斷的格局被打破,標志著中國本土半導體材料供應商完全有能力進入高端超純晶圓制程化學材料領域,并成為其主流供應商!